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第143章 雙工件臺的設想

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在實驗室內,蘇遠山遇到了意想不到的人。

“鄭叔?”

鄭振川正帶著研究員站在原子力顯微鏡前觀察著什麼,這讓蘇遠山頗有些驚訝。按理說鄭振川這邊用不著原子力顯微鏡的。

蘇遠山建的物理實驗室當然不是隻有他自己用,而是統一歸於科技園實驗室中心管理。任何人只要打個申請就能使用。

“我來分析一下第一次曝光後的矽晶圓表面。”鄭振川呵呵笑道。

“喔,那你們繼續。”蘇遠山決定不打擾對方。

“沒事,我們已經弄完了。”鄭振川走向蘇遠山,想了想道:“小蘇,你上次提到的雙工件臺設想,我們所裡考慮了一下,發現難度很大,感覺根據現有的條件走不通。但一旦實現的話,確實對於光刻機來說,會是一個極大的提升。”

“嗯,沒錯。終於走不走得通……”蘇遠山笑了笑:“我們先不忙考慮其他,僅從設計角度上來說,可以設計出這樣的機械裝置來配合光刻機嗎?”

鄭振川笑道:“這當然可以,只要是機械,就沒有設計不出來的。無非是精度、效率、體積罷了。”

“那不就結了?”蘇遠山攤手:“總得先試試,精度效率先不管,先管體積,先搞出來再說。”

“只是那非一朝一夕啊。”

“慢慢來嘛。”蘇遠山呵呵一笑:“我出錢的都不著急呢,這玩意哪怕十年弄出來也沒啥。但只要弄出來了,那就是大殺器,對吧?”

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