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光刻機聯合研究中心。

蘇遠山是被鄭振川一個期期艾艾的電話直接給叫到這邊來的——在電話中，鄭振川只是說光源小組和矽谷的林本堅團隊出現了摩擦。

當時把蘇遠山嚇得夠嗆，下樓搶了一輛腳踏車就往光源實驗室趕去。

不過當聽到所謂的摩擦後，他微微鬆了口氣。

……

“意思是林本堅那邊說，根據他的技術直覺，KBBF晶體無法用在DUV光源之上？”蘇遠山望向趙凱東問道。

趙凱東正在一根一根地抽著煙，點了點頭：“是的，但國外已經出現了KBBF的倍頻技術……我們這邊也有所突破了。”

蘇遠山抿了抿嘴，深深地皺起了眉。他知道，KBBF現在是可以出口的，而且國家甚至還大力提供……希望與國外共享技術。

“老林那邊就一個直覺嗎？”

“不是……是目前已有的光源來看，KBBF晶體不足以滿足光刻機的持續、大功率鐳射輸出。”趙凱東望向蘇遠山：“但我們相信……大功率肯定是能的。”

蘇遠山輕輕嘆了口氣：“我當然也相信……”

蘇遠山知道，後世KBBF是一直沒有用在光刻機上的——或者說，加個主流。當初他讓趙凱東搞KBBF，也是懷著僥倖，希望能夠從KBBF上完成突破，從而一舉打破193奈米的桎梏，再加上浸潤式，到時候就能很輕易地靠著DUV就下探到5nm製程之下。

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