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面對蘇遠山帶著期許的眼神，林本堅有點不好意思起來。

回國之後，他便和之前一直遠端聯絡的趙凱東團隊一頭扎進了193nmArF光源的研發中。現在正是小有成就，看到曙光的時候……

坦白說，他還真沒空去考慮193nm之後的事。而且長期呆在矽谷，他對燈塔國的技術實力和技術遠見是再瞭解不過了。

既然燈塔國那邊都已經瞄準了EUV，顯然，這意味著必定是個方向，起碼也是之一。

不過……既然蘇遠山問的是“妙招”，而不是下一代光源的方向……

那林本堅倒還真有點想法。

“妙招談不上，只是在很早之前有點不成熟的想法。”林本堅有些靦腆地笑道。

蘇遠山眼睛亮了起來：“林叔您說。”

“我在幾年前發過一篇論文，當時就想過，如果無法從光源上縮短波長，那麼可以考慮其他物理手段來實現。譬如在鏡頭與曝光區域中間加上一層水，這樣就能把波長降下來了。”

說著林本堅便簡單介紹了一下自己的思路。

聽完林本堅的介紹，這邊蘇遠山還沒說什麼，趙凱東和梁夢松便齊齊一楞——他倆人都是和光刻機老打交道的工程師，立刻便意識到這想法有點過於異想天開了。

趙凱東道：“老林，你這個怕是不好搞吧？”

梁夢松也點頭：“有點過於……咳。”

林本堅只是笑了笑，他現在也沒空去整理方案，只是隨便一說，自然不指望說服這兩人，而且這也不是什麼迫在眉睫的事情……

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