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老美那邊搞EUV搞得如火如荼，國內卻半點“動靜”都沒，並不是真實情況。

事實上，再老美EUV聯盟成立的當月，中科院的幾大光機所就聯合召開了數次會議，討論如何實現EUV光源。

畢竟，遇事不決先摸一把鷹醬，這是傳統技藝了。

在這方面，中科院諸位那可謂是老手藝人。

討論的結果自然是不容樂觀的。

國內光學技術的扛把子，長光所，為了支援國產光刻機鐳射光源的發展，幾乎是把所有精銳和骨幹都拿去支援了趙凱東——甚至趙凱東本身就是國內準分子鐳射領域的專家，也是親自引導著鐳射光源的半導體領域市場化的先行者。

所以，當時尚未企業化的趙凱東團隊，便在下一代光源上的發展方向上擁有極大的話語權。

在會上，趙凱東力排眾議，認為國內的半導體光源領域要一步一個腳印，現在可以對EUV進行理論上的研究，但最重要的還是需要把眼前的事做好，譬如積極推進Arf光源的市場化，進一步鞏固基礎，培養人才。

再加上老美那邊牽頭的陣仗實在太大，國內唯一有資格與之掰一下手腕的遠芯又“興致缺缺”，和趙凱東秉持一個態度……

當然，項雖然沒有立，但不表示就真埋起頭當鴕鳥了。長光所還是從有限的經費和人員中開展了對EUV理論上的推動，甚至還拉著科研經費逐漸富裕起來的清華成立了聯合的小組。

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