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“雖然之前十年,我們一直在和cymer合作,包括目前我們最新的twins1980di,採用的光源也是cymer的……國產僅用在非浸潤式型號上。但自從euv亞聯成立後……我們的關係還是有點難處的。”
“特別是euv光源,目前精光那邊尚拿不出什麼好方案來,而cymer好歹提出了lpp方案,而且asml的驗證機型也證實了可行。當然,根據荷蘭的訊息,lpp方案還是存在功率不足的問題……但好歹起了個頭對吧?而反觀我們這邊……國內差一點,霓國人又心懷鬼胎……而老美……你又一直把警惕掛在嘴邊……”
鄭振川一直說,一直苦笑,最終長嘆了一口氣:“難吶!”
聽到鄭振川的感慨,李明柳也頗有些感同身受以跟著一嘆。
反倒是蘇遠山,臉上露出了一抹怪異。
——這二位,似乎都已經忘記了國產光刻機在十五年前是什麼鬼樣子了……如今二十年不到,宏芯就憑藉著雙工件臺的領先和浸潤式光刻,一舉成為了全球市場份額最大的光刻機制造商……
這要是放在後世,寫成都沒人信的。
鄭振川居然還不滿足……這隻能說,人吶,是天然的好了傷疤忘了疼。
不過……老鄭說的也確實是事實。
euv亞聯雖然成立,且在過去五年中,由遠芯主導著拉了十幾家單位進來,總共投入了超過五億美金,這才拿出了眼前這張設計圖來。但由於東亞半導體圈肉眼可見的成型,或者說成型之勢不可阻擋,以至於……大家都有了各自的小心思。
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