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下午的會議,鄭振川就沒有再參加了。
但遠芯對半導體行業的討論仍然在繼續。
“過去十幾年,我們一直在和intel比工藝,截止去年,我們都已經走到了成熟的45nm節點上。”張汝金戴上了老花鏡,瞥了一眼手中的檔案,臉上是不甚唏噓的感慨:“不得不說,intel還是很厲害的,我們每次有領先,他們總是能夠及時的追上來甚至還能反超。”
“摩爾定律就是這麼實現的。”蘇遠山笑著補充了一句。
“是啊,但今年我們可以提前一大步了。”張汝金笑呵呵地望向眾人,但主要的視線還是停在蘇遠山的臉上。
畢竟,這與會的多人裡,還是蘇遠山對半導體工藝理解得最深刻。
“最遲年中,我們就可以推出基於22nm的finfet工藝,把晶圓的電晶體密度再上一個臺階。而且我們目前的DE技術已經成熟,目前正在向SADP技術轉移,從技術的角度,是可以支撐我們的工藝在DUV的條件下把製程繼續往下探,或者說,等效製程往下探。”
//DE(doubleexposure,雙重曝光),SADP(self-aligneddoublepatterning自對準雙重成像)
“如果intel跟不上,那這將會是一次巨大的領先!”張汝金紅光滿臉,終於忍不住有些激動起來:“製程進入到22nm之後,finfet將會是唯一的選擇,最起碼目前是。”
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