來?了!
眾人振奮!
一組報告:“二氧化碳脈衝鐳射器無損,功率消耗在預估範圍內,光線利用率成功達到2%!”
二組報告:“散熱系統啟動!散熱功正常!”
三組報告:“感測器反饋鐳射和液滴?步對準,鐳射等離子體?在預估範圍內捕獲!”
組報告……
隨著一個又?一個與模擬?預估無二的報告傳入眾人耳中,預示著光源系統裝置實驗驗收圓滿完成!
眾人憋著一氣沒聲,就等著盛明安總結。
盛明安不負眾望,聽完各組結果報告,對著擴音器宣佈:“高階光刻機光源系統技術研究專案圓滿透過驗收,”他稍稍提高音量,“我?的科研專案,鐳射等離子體?極紫外?光刻光源是——”
“13.5nm!”
原本想歡呼的眾人臉上剛升起的笑容陡然僵住,瞳孔逐漸放大,呼吸急促,不敢置信,紛紛以為?己的耳朵壞了,他現?了幻聽。
盛明安語氣裡流瀉輕鬆的笑意:“恭喜大家。”
見眾人沒反應,他回頭,疑惑:“你不滿意嗎?”
林成建也懵了,小心翼翼地詢問:“盛工,你剛才說?13.5nm……不是16nm?”
?盛明安爭論了將近半個月早已震驚過的程院長好笑地環顧眾人表現?不一的樣子。
雷客比林成建還小聲輕柔:“比asml euv的14nm還精確了0.5nm?”
杜頌捂著心臟,喃喃說?道:“不是吧……我?整天研究的就是這?牛逼的玩意?”
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