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GCA當時投入研發EUV技術專案的3000萬美元經費,可以收購ASML40%的股權,不是一筆小數目!
GCA當時賬上的現金流只剩下300多萬美元,公司要花錢的地方多的是。
孫健前世在網際網路上看過不少有關ASMLEUV光刻機的文章,作者紛紛感嘆研發和生產EUV光刻機之難難於上青天,被稱為外星人的科技水準,是迄今為止人類科技領域所能達到的最尖端技術,沒有之一。
為了打破封鎖,投入巨資,舉國之力也沒有看見成果。
前世90年代末,乾式193n】
英特爾當時打算邀請光刻機行業第一、第二位的Nikon和ASML加入EUVLLC,但美國政府擔心最前沿的光刻機技術落入外國公司手中,反對Nikon和ASML加入。
ASML為了表現誠意,同意在美國建立一所工廠和一個研發中心,以此滿足所有美國本土的產能需求,另外,還保證55%的零部件均從美國供應商處採購,並接受定期審查,做出多項讓步後,最後成功加入EUVLLC,能夠享受其基礎研究成果,Nikon卻沒有機會加入,失去了同ASML競爭的機會。
幾年之後,終於論證了EUV的可行性,於是EUVLLC的使命完成,公司解散,各個成員踏上獨自研發之路。
ASML加入EUVLLC後,享受到的研究成果大大加快了其EUV的研發進度,2005年摩爾定律陷入停滯,極紫外光刻技術被認為是製程突破10n程工藝的關鍵,但由於EUV光刻機幾乎逼近物理學、材料學以及精密製造的極限,光源功率要求極高,透鏡和反射鏡系統也極致精密,還需要真空環境,配套的抗蝕劑和防護膜的良品率也不高,別說是對日本與荷蘭,就算是科技全球第一的美國,舉國之力獨自突破這項世界最尖端的技術,也是痴人說夢。
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