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張本松這種老一輩工程師絕不只是喊喊口號那麼簡單,在會上,張本松就安排人手從頭到尾重新仔細推敲一遍,把預案做的詳細到不能再詳細了才讓大家進潔淨室實操。
為了確保每一步都正確,張本松嚴格監控每一步,尤其在烘焙這種容易出問題的關鍵步驟上,張本松甚至都直接把手伸進烤箱裡測溫。
這給其他人都嚇了一大跳,雖說由於光刻膠不耐高溫,但烤箱裡也有七八十攝氏度的高溫,這個溫度同樣是能造成燙傷的。
不過最終張本松的冒險是值得的,當他把手伸進烤箱後還真讓他找到了問題關鍵。
“我們需要通風除溼降溫!”
張本松說他們這款烤箱的通風孔並沒有開啟,因此大量的水蒸氣堆積導致光刻膠很難乾燥定型,此外水蒸氣也會導致烤箱內部的溫度異常升高,要解決這個問題必須開啟通風孔,像塗光刻膠時那樣時刻通風。
而經過通風處理,果然烘焙效果立馬上升了一個檔次,最直接的結果就是張本松伸手進烤箱的那片矽晶圓,最終成功刻蝕出二十枚晶片。
或許對比一塊矽晶圓千枚以上的總數,二十枚這個數字著實太少了點,聽起來就跟運氣好才做出來的一樣。
不過只有真正接觸這種精密製造的人才明白,晶片製造根本沒有運氣這一說,現在這二十枚就是一個0的突破。
鄭南聽到訊息急急忙忙來到車間,又聽聞張本松居然伸手進烤箱,更是著急:“張主任你不管有任何想法都可以說出來嘛,怎麼能做這麼危險的事?你可知道你才是晶片製造的領頭人?”
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