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第八十六章 質疑剽竊

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李皓深諳打人要打臉的道理,只可惜這回他們似乎是沒臉來,重新又換了一批人。

雖然依舊那般的傲慢,年紀也是一般的大,但總歸是差了點感覺。

正當李皓都不想搭理他們的時候,他們卻又主動上門來找虐。

因為在光刻機研究卡殼在193nm的這些年裡,日本和阿斯麥公司選擇了不同的路線。

日本人堅持以往思路,繼續迭代技術,去研發新的光源,堅持在傳統乾式微影技術上一條路走到底。

而阿斯麥則因為加入了美國牽頭的EUV聯盟,就主張使用極紫外技術生產裝置。

從後面的發展情況來看,EUV技術無疑更先進,日本在選擇傳統派陣營時,其實就已經輸了。

但事實上,日本人也並非不願意嘗試極紫外光技術,而是被美國別有用心的排除在了門外。

畢竟即使它們再怎麼願意當兒子,也架不住人家的忌憚。

就像是之前的廣島協議一般,美國是不會允許有人來實際威脅他們的地位的,即使是乾兒子也不行。

只不過在現如今的階段,因為技術儲備的原因,雙方暫時都沒有達成目標。

不過相比於極紫外光技術依舊存在的很多技術難關,日本人這裡的157nmF2鐳射的研發卻已經有了實質性進展。

所以在這個時候,對於中國人弄出來的浸潤式光刻機,就讓他們極為排斥。

因為它們能從現有公佈出來的資料中看出來,浸潤式光刻機的後續開發空間巨大。

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