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蔚藍海岸實驗室,紫星光刻機無塵工作室。
今天一早,羅晟接到訊息便來到了這裡,此時在這間兩萬多平米的無塵室,幾十名工程師和羅晟都穿著工作無塵服在裡面,他的手裡正拿著一塊晶圓流片反覆觀察欣賞,這尺寸間的藝術正是紫星光刻機的傑作。
站在他身邊的一位工程師興奮使然的道:“光源的轉換效率達到了一致,也實現了正確的控制,團隊攻克了250瓦光源,客戶可以達到每小時155片晶圓吞吐量,而在實驗室裡,則是可以實現超過300瓦的光源功率,完成最後的測試紫星裝置就可以正式出貨了。”
全球幾家頂尖的晶片製造商一直以來都堅持250瓦的光源功率是達成每小時155片晶圓生產量吞吐的必要條件,而ASML與光源技術供貨商Cymer到現在為止還未能實現這一光源功率目標,這家公司兩年前被ASML收購,但進展有限,這也是ASML在進來發展不順的原因,雖說他們已經提前一步搞出了極紫外光刻機了。
羅晟把手裡的流片交給旁邊的工程師,笑道:“幹得不錯,我們現在可以有底氣說出半導體制造裝置最重要的光刻機,我們領先世界了,國內的半導體廠商拿著大把的鈔票去求著ASML購買還得看對方心情這種局面,該結束了。”
在場的人聽到這話也是倍感振奮,在羅晟的話音剛落後,都止不住內心的激動心情而鼓掌,為國產半導體事業里程碑式的突破而鼓掌,也為自己的事業為自己鼓掌。
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