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“要問的問題實在是太多了,一時不知道該如何下手啊!”專家們嘆道,高階光刻機堪稱現代光學工業之花,其製造難度之大,全世界只有少數幾家公司能夠製造。
按照種類可以分為接觸式、接近式和投影式多種,而高階的投影式光刻機又可分為步進投影和掃描投影光刻機兩種,解析度通常七奈米至幾微米之間,高階光刻機號稱世界上最精密的儀器,最先進的光刻機售價都是用億美元為單位的。
而且受制於歐美國家的技術封鎖,中國就算是拿著錢也買不到,就算想盡辦法克服困難預定上一兩臺,往往還是技術落後的產品,而且在交貨的過程中還經常會因為莫名其妙的失火等原因延遲或者取消交貨。
國內倒是也有廠家在進行光刻機的研發製造,但技術相對阿斯麥等歐美頂尖公司,還有不小的差距,國外已經達到四奈米的加工水平,國內拿出來的最新產品,加工精度才只有二十二奈米而已,完全無法滿足需求。
“這份設計圖紙所採取的模式和阿斯麥、尼康、佳能的都不一樣,和我們現在研發的也不一樣,雖然目前看來理論上似乎可行,可要想吃透這種模式就要花相當長的時間!就更不用說生產出樣品。”
一臺光刻機內部超過了8萬個零件,重量為180噸,而光刻機的零件也並非一個國家就全部製作的,因為它們有的是日本的光學技術,有的是德國的機械技術;所以阿斯麥曾經放出話來,就算把設計圖紙拿給你們,你們也製造不出來。
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