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週日的早晨,天音晶片廠車間裡,段雲以及吳剛帶領的7名技術人員,還有那兩名荷蘭工程師,早早就等待了無塵車間的C區,準備對新生產線進行最後的測試。
吳剛等7名技術人員全部簽訂了保密協議,他們也是整個晶片廠幾十名技術人員中,少數有資格進入C區的工作人員。
因為這4臺阿斯麥光刻機還屬於禁運產品,為了不給阿斯麥公司造成麻煩,段雲對新生產線的訊息進行了嚴格封鎖,並且將機器上的logo和標識全部刮除,重新刷上了一層防鏽漆,整個機器找不到關於廠家的任何標誌。
另外C區連線目前東芝生產線的A區只有一個產品通行傳輸帶,從東芝生產線生產出來的晶圓片會透過傳輸帶運到C區,經過光刻處理之後,再重新傳送到A區,新車間非常的隱蔽,人員過道還加裝了磁卡門禁,這道門禁支援錄入20張磁卡,沒有磁卡的人是無法進入C區的。
“可以開始了嗎?”一切準備就緒之後,段雲對兩名荷蘭工程師問道。
“可以了。”文森特應了一聲,然後坐在控制檯上,輸入一串密碼後,啟動了光刻機。
相比於日本的東芝光刻機,阿斯麥的光刻機外觀看起來更加的緊湊,主要分為三個部分,曝光臺,測量臺,以及擁有兩個顯示器的操作檯。
隨著操作檯主顯示器上一串程式碼閃過之後,曝光臺開始發出了輕微的嗡鳴聲,緊接著圓晶片開始進入光刻階段。
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