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第一千三百六十九章 歷史時刻

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段雲同樣需要突破的還有光刻機技術,而這其中。

頂級的光源,高精度的鏡頭和精密儀器製作技術是euv光刻機三大核心技術,阿斯麥的光源來自收購的子公司cymer;鏡頭來自深度繫結的蔡司;精密儀器則自身擁有多年的經驗和專利積累。

其實從後世的晶片產業發展來看,國產光刻機在光源方面,以及光刻機對準臺方面,都已經得到了重大突破,達到了國際先進水平,中國的極紫外光也是相當厲害的,所以光源和工作臺並不是制約國產光刻機的最主要因素。

而真正制約國產光刻機發展的是光刻機的鏡頭鏡片,阿斯麥能夠成為光刻機領域的老大,其最核心的技術就是來自於蔡司的光學鏡片。

德國蔡司是一家老牌光學廠商,早在1890年就開始生產相機鏡頭,這家公司在行業的影響力不僅僅是賣相機鏡頭,蔡司還從事高階光刻機高精度鏡頭製造,荷蘭阿斯麥公司製造的光刻機基本上都是採用蔡司鏡頭。

早年的時候日本尼康佳能憑藉很好的光學技術底子,也能生產出技術先進的光刻機,然而進入90年代之後,隨著晶片製程技術的不斷提高,尼康佳能都曾經嘗試去做更高的光刻機鏡頭,但結果都失敗了,只能放棄,在這個地球上,高精度的放大鏡只有德國蔡司鏡頭可以生產。

光刻機對鏡頭的要求有多高,從他的技術構造上就可以看出來。

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